描述

六氟化硫在許多應(yīng)用中仍是必須的，作為一種示蹤、保護(hù)或絕緣氣體。由于SF6的高溫室效應(yīng)，對(duì)氣體的負(fù)責(zé)任處理變得更加重要。MicroFLOW SF6.100 Vol.-%傳感器適用于需要精確和可靠的廣泛應(yīng)用領(lǐng)域。

應(yīng)用領(lǐng)域

工業(yè)：SF6用于等離子蝕刻工藝，在半導(dǎo)體材料如硅、二氧化硅和其他化合物上創(chuàng)建精確圖案。該氣體被用在特殊的蝕刻室中，通過(guò)施加高頻能量轉(zhuǎn)化為等離子體。這個(gè)等離子體然后選擇性地與材料反應(yīng)，使得在一個(gè)非常受控和準(zhǔn)確的過(guò)程中精確地雕刻或移除材料。

在鋁的生產(chǎn)中，六氟化硫被用作示蹤氣體，以提高生產(chǎn)效率并盡早檢測(cè)潛在問(wèn)題。它還用于監(jiān)測(cè)最終產(chǎn)品的質(zhì)量和一致性。

能源技術(shù)：在電力供應(yīng)領(lǐng)域，SF6被用作高壓開(kāi)關(guān)設(shè)備和變壓器中的絕緣氣體和冷卻介質(zhì)。測(cè)量六氟化硫?qū)τ谠缙谧R(shí)別泄漏以及監(jiān)測(cè)系統(tǒng)狀況非常重要。

測(cè)量精度

我們的NDIR氣體傳感器在測(cè)量和監(jiān)測(cè)六氟化硫時(shí)能夠獲得精確的結(jié)果。通過(guò)10點(diǎn)線性化，在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)，測(cè)量的氣體濃度的最大偏差小于1%。

傳感器可靠地檢測(cè)最小氣體濃度，以識(shí)別氣體混合物中的最微小變化。您可以自由選擇應(yīng)用程序的測(cè)量范圍，例如從整個(gè)0到100 vol.-%的測(cè)量范圍中的90 vol.-%。

由µP.sens壓力傳感器在樣品池塊中補(bǔ)償任何因壓力波動(dòng)或氣壓變化引起的偏差（< 0.1 % / 10 hPa），消除了潛在的泄漏或測(cè)量值的偽造。通過(guò)將壓力傳感器集成到樣品池塊中，與類似傳感器相比，模塊的整體空間需求減少了。

每個(gè)傳感器都確保了溫度補(bǔ)償。每個(gè)模塊的測(cè)試和校準(zhǔn)在氣候室中進(jìn)行，使用特定濃度的測(cè)試氣體在測(cè)量過(guò)程中記錄和調(diào)整誤差曲線。測(cè)試和校準(zhǔn)在5至45攝氏度的傳感器操作范圍內(nèi)進(jìn)行，包括零點(diǎn)和跨度點(diǎn)，以及傳感器操作范圍內(nèi)的其他典型溫度。最大偏差每10K小于1%。

功能范圍

RS232和CAN-Bus數(shù)字接口是行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)配置。使用可選配件和MARSlight軟件為您的配置選擇一個(gè)接口。遵循軟件手冊(cè)中的說(shuō)明。

樣品池針對(duì)測(cè)量高達(dá)100%體積比的六氟化硫進(jìn)行了優(yōu)化。

與常規(guī)傳感器相比，我們的傳感器允許在300 - 1200 hPa的寬壓力范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)量。例如，傳感器適合更高地理位置或需要負(fù)壓測(cè)量的系統(tǒng)。

使用壽命

陽(yáng)極氧化鋁氣體連接塊確保在惡劣環(huán)境條件下的長(zhǎng)壽命和可靠性。不銹鋼氣體連接進(jìn)一步增強(qiáng)了耐用性。

在操作溫度范圍內(nèi)進(jìn)行的氣候室測(cè)試消除了組件的過(guò)早故障。

安裝和操作

免費(fèi)下載MARS light軟件用于氣體傳感器，立即開(kāi)始使用您的氣體傳感器。軟件消除了創(chuàng)建自己的軟件的需要，并在初始測(cè)試測(cè)量上節(jié)省時(shí)間。傳感器消耗不到1瓦，可以使用電池供電的設(shè)備。易于集成，具有9到30伏的寬電壓范圍，使其可以連接到大多數(shù)現(xiàn)有系統(tǒng)。

根據(jù)具體需求，分析前可能需要對(duì)氣體進(jìn)行預(yù)冷或加熱。為了防止樣品池中的潛在氣體凝結(jié)效應(yīng)，可以監(jiān)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)中的氣體溫度。

我們的模塊化設(shè)計(jì)使清潔和維護(hù)變得簡(jiǎn)單，不同于許多同類產(chǎn)品。

有關(guān)安裝和操作的詳細(xì)信息可以在用戶手冊(cè)中找到。

我們的數(shù)據(jù)表簡(jiǎn)要列出了最重要的技術(shù)細(xì)節(jié)。我們將很高興就您個(gè)別的問(wèn)題和要求提供咨詢。

應(yīng)用

l在高功率應(yīng)用中的泄漏監(jiān)測(cè)

l絕緣氣體的監(jiān)測(cè)

l絕緣氣體的質(zhì)量保證

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

l壓力值和氣壓變化的最小偏差（< 0.1% / 10 hPa）

l工業(yè)上常用的接口可用

l由于高質(zhì)量材料而維護(hù)成本低

l可用于電池供電設(shè)備

l可以監(jiān)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)中的氣體溫度

l維護(hù)和清潔輕松完成

特點(diǎn)

l10點(diǎn)線性化

l通過(guò)集成壓力傳感器進(jìn)行壓力補(bǔ)償

l溫度補(bǔ)償

l數(shù)字接口RS232/CAN-Bus

l具有高化學(xué)抗性的堅(jiān)固設(shè)計(jì)

l可測(cè)量氣體溫度

l模塊化設(shè)計(jì)

l對(duì)CF4沒(méi)有交叉靈敏度

技術(shù)參數(shù)

1.                      零點(diǎn)氣體測(cè)量：氮?dú)?；相關(guān)條件為Pa = 1020 hPa；Ta = 25°C；流量 = 1 l/min。

2.                      完整規(guī)格，取決于環(huán)境條件。

3.                      在零點(diǎn)處。

4.                      具有量程溫度補(bǔ)償。

5.                      建議在穩(wěn)定的氣候條件下使用，請(qǐng)檢查露點(diǎn)注意事項(xiàng)。

機(jī)械制圖

俯視圖

前視圖

側(cè)視圖

產(chǎn)品概述